气动内径测头结构简单﹐很适宜用於孔径测量。它可以测量直径为1.5毫米的小孔。气动量仪的示值范围较小﹐一般为±20~±100微米。按示值范围不同﹐常见的分度值有0.5微米﹑1微米和 2微米等几种。允许误差一般不大於一个分度值。气动量仪主要分为压力式和流量式两类。
压力式气动量仪 有差压水柱式﹑波纹管式(见长度传感器)﹑薄膜式和膜盒式等。图2 差压水柱式气动量仪的工作原理
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为差压水柱式气动量仪的工作原理。测量前﹐分别用与被测孔径公差的最大极限尺寸和最小极限尺寸相等或相近(已精确测得其实际尺寸)的两个校对环规﹐按所採用的放大倍数﹐用倍率微调阀﹑零位调整阀调整水柱的上﹑下限位置。测量时﹐由於被测孔径实际尺寸与校对环规尺寸之差引起的间隙 S 1和S 2变化﹐使测量气室中的压力也发生变化。变化的大小由水柱高度表示﹐从刻度尺上读出被测孔径的偏差值。薄膜式和膜盒式等气动量仪分别採用膜片和膜盒等弹性元件作为转换元件。测量时由压力变化引起弹性元件位移﹐经槓桿齿轮机构放大后由錶针指示。如果在弹性元件的端面上加上电触点﹐便能发出电信号而进行自动测量。
流量式气动量仪 採用浮子和锥度玻璃管作为转换元件﹐故又称浮标式气动量仪。图3 浮标式气动量仪的工作原理
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